장비사업부

VACUMM SYSTEM

TM&Passage Chamber

  • 개 요 : 진공물류장치
  • 공 정 : 진공상에서 자동으로 glass & mask 자동 이송장치
  • Substrate : ~ 6G/H
  • System Dimension
    - Vacuum Passage : 2,180W * 2,654L * 3,850H
    - Vacuum Transfer : 4,158W * 4,158L * 3,830H
    - N2 Transfer : 3,112W * 8,080L * 4,154H
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